Usredotočite se na specijaliziranu plinsku industriju

Elektronički plinovi uključuju elektroničke posebne plinove i elektroničke rasute plinove.Oni su nezamjenjivi i ključni materijali u procesu proizvodnje integriranih krugova, zaslonskih ploča, poluvodičke rasvjete, fotonaponskih i drugih industrija.Elektronički specijalni plinovi neophodni su pomoćni materijali za proizvodnju integriranih sklopova.Naširoko se koriste u fotolitografiji, jetkanju, formiranju filma, čišćenju, dopiranju, taloženju i drugim poveznicama procesa.Imaju visoke zahtjeve za čistoću, stabilnost, spremnike za pakiranje itd., poznati kao "hrana" i "krv" industrije poluvodiča.Proizvodnja integriranih sklopova uključuje tisuće procesa koji su iznimno složeni i zahtijevaju upotrebu stotina elektroničkih specijalnih plinova.U proizvodnji integriranih sklopova elektronički plinovi mogu se podijeliti na plinove za dopiranje, plinove za ionsku implantaciju, plinove za čišćenje, plinove za jetkanje i plinove za fotolitografiju prema različitim procesima;elektronički plinovi imaju široku primjenu i imaju visoke tehničke zahtjeve.Izvori i njihovi opskrbni sustavi imaju zahtjevne zahtjeve.Čistoća plina je temeljni parametar posebnih plinskih proizvoda, koji zahtijevaju ultrapure i ultraclean.Ultrapure zahtijeva da čistoća plina dosegne 4,5N, 5N ili čak 6N ili 7N.Svaki put kad se čistoća poveća za jedan N i svaki put kad se koncentracija čestica i metalnih nečistoća smanji za jedan red veličine, čistoća plina će se povećati za jedan red veličine.Donošenje značajnih poboljšanja u složenosti i težini procesa.Za miješani plin, točnost omjera je ključni parametar.Kako se komponente proizvoda povećavaju, a točnost pripreme povećava, dobavljači plina često moraju izvoditi precizne operacije na plinskim komponentama s različitim koncentracijama ppm ili čak ppb.